エッチング組成物[ja]

被引：0

申请号：

JP20240203360

申请日：

2024-11-21

公开(公告)号：

JP2025019188A

公开(公告)日：

2025-02-06

发明(设计)人：

HIRATAKA HARUKA YAMASHITA ISAO

申请人：

TOSOH CORP

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/306

IPC分类号：

C09K13/04

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

エッチング組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7632779B1 ,2025-02-19

[2]

エッチング組成物[ja] [P].

HIRATAKA HARUKA ;

YAMASHITA ISAO .

日本专利 :JP2025019189A ,2025-02-06

[3]

エッチング組成物[ja] [P].

日本专利 :JP7632780B1 ,2025-02-19

[4]

エッチング液組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2009066750A1 ,2011-04-07

[5]

エッチング液組成物[ja] [P].

SATO KANJI .

日本专利 :JP2025116855A ,2025-08-08

[6]

ウエットエッチング剤組成物[ja] [P].

日本专利 :JPWO2002045144A1 ,2004-04-08

[7]

組成物及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2020035982A1 ,2021-09-02

[8]

組成物及びエッチング方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2019135338A1 ,2021-01-07

[9]

エッチングレジスト組成物[ja] [P].

NISHIO KAZUNORI .

日本专利 :JP2024052529A ,2024-04-11

[10]

エッチング用感光性樹脂組成物およびエッチング方法[ja] [P].

ITO AKIRA ;

NAKAMURA YUKO ;

MIYAZAKI TAKASHI .

日本专利 :JP2024038567A ,2024-03-21

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