一种反射式点衍射干涉仪以及面型测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411596601.3

申请日：

2024-11-11

公开(公告)号：

CN119085479B

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

卞殷旭

申请人：

浙江大学杭州国际科创中心

申请人地址：

311215 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号

IPC主分类号：

G01B9/02001

IPC分类号：

G01B9/02055 G01B11/24

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

陈刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 9/02001申请日:20241111
2024-12-06	公开	公开
2025-03-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种反射式点衍射干涉仪以及面型测量方法 [P].

卞殷旭 .

中国专利 :CN119085479A ,2024-12-06

[2]

点衍射干涉仪 [P].

王帆 .

中国专利 :CN101183042B ,2008-05-21

[3]

光纤点衍射干涉仪光纤衍射参考波前偏差测量方法 [P].

金春水 ;

卢增雄 ;

马冬梅 ;

张海涛 ;

于杰 .

中国专利 :CN104748946A ,2015-07-01

[4]

一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法 [P].

陈磊 ;

崔鑫莹 ;

郑东晖 ;

朱文华 ;

郑权 ;

张正宇 ;

陈佳 ;

胡晨辉 .

中国专利 :CN110672216A ,2020-01-10

[5]

一种基于反射式点衍射干涉仪的位相缺陷检测系统与方法 [P].

陈磊 ;

刘一鸣 ;

朱文华 ;

马云 ;

韩志刚 ;

郑东晖 ;

张瑞 ;

孙沁园 ;

乌兰雅图 .

中国专利 :CN106770335A ,2017-05-31

[6]

基于针孔式点衍射干涉仪球面镜曲率半径测量方法 [P].

高志山 ;

田雪 ;

杨忠明 ;

王凯亮 ;

王帅 ;

成金龙 ;

叶井飞 ;

袁群 .

中国专利 :CN104655053B ,2015-05-27

[7]

光纤点衍射干涉仪等光程位置调整方法 [P].

金春水 ;

卢增雄 ;

马冬梅 ;

张海涛 ;

于杰 .

中国专利 :CN104792424A ,2015-07-22

[8]

检测表面形状的点衍射干涉仪 [P].

徐文东 ;

周飞 ;

王阳 ;

张锋 ;

魏劲松 .

中国专利 :CN2599524Y ,2004-01-14

[9]

检测表面形状的点衍射干涉仪 [P].

徐文东 ;

周飞 ;

王阳 ;

张锋 ;

魏劲松 .

中国专利 :CN1431477A ,2003-07-23

[10]

一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法 [P].

孟庆华 .

中国专利 :CN102519608B ,2012-06-27

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