安装装置及安装方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410842088.5

申请日：

2024-06-27

公开(公告)号：

CN119517783A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

福本眞介

申请人：

株式会社新川

申请人地址：

日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

杨贝贝;黄健

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	公开	公开
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240627

共 50 条

[1]

安装装置 [P].

奈良场聪 ;

松本武士 ;

寺田胜美 .

中国专利 :CN115380366A ,2022-11-22

[2]

安装装置及温度测定方法 [P].

和田庄司 ;

菊地広 .

中国专利 :CN111033705A ,2020-04-17

[3]

安装装置及安装方法 [P].

杉原康平 ;

后藤秀德 .

中国专利 :CN107432117B ,2017-12-01

[4]

安装装置及安装方法 [P].

伊藤弘朗 .

中国专利 :CN111246721A ,2020-06-05

[5]

安装装置及安装方法 [P].

远藤大辅 ;

土谷祐介 ;

仙石重德 .

中国专利 :CN109076727B ,2021-03-26

[6]

安装装置及安装方法 [P].

土田阳介 ;

松田和弥 ;

藤田高史 .

中国专利 :CN107969102B ,2018-04-27

[7]

安装装置及安装方法 [P].

古贺博之 .

中国专利 :CN110708946B ,2020-01-17

[8]

安装装置及安装方法 [P].

张胜威 ;

陈德新 ;

邓伟杰 ;

李继房 ;

李灵勇 ;

古镔 ;

吴思琪 ;

陈宇翔 ;

林锋宇 ;

谢举成 .

中国专利 :CN119091744A ,2024-12-06

[9]

安装装置及安装方法 [P].

冨樫徳和 .

日本专利 :CN113871319B ,2025-02-25

[10]

安装方法及安装装置 [P].

川合英俊 .

日本专利 :CN115769691B ,2025-10-21

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