衬底处理装置和衬底处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411005229.4

申请日：

2024-07-25

公开(公告)号：

CN119511653A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

林庆泽金縡夏李承桓李承俊

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

G03F7/38

IPC分类号：

G03F7/40 H01L21/67

代理机构：

北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204

代理人：

刘旭;张磊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

衬底处理管、衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

李贤珠 ;

金炳勋 ;

金玹彻 ;

李在珩 ;

孔炳焕 .

韩国专利 :CN117364058A ,2024-01-09

[2]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

卢炫佑 ;

金劲佑 ;

郑暎锡 ;

洪永珍 ;

吴守赞 ;

申盛宇 ;

李南勋 ;

李奉柱 .

韩国专利 :CN118016555A ,2024-05-10

[3]

衬底处理方法和衬底处理装置 [P].

金龙优 ;

李东炫 ;

姜东勳 ;

奇釜杆 ;

边湖连 ;

李廷仁 ;

崔圣植 ;

崔正燮 .

韩国专利 :CN120344117A ,2025-07-18

[4]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN118553640A ,2024-08-27

[5]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

樱井秀昭 ;

伊藤正光 ;

伊藤信一 .

中国专利 :CN1199242C ,2002-08-28

[6]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

朴相真 ;

朴智焕 ;

李根泽 .

韩国专利 :CN118099023A ,2024-05-28

[7]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

李一成 ;

汪宇澄 ;

陈亮 ;

陶成钢 .

中国专利 :CN102842637A ,2012-12-26

[8]

衬底处理方法和衬底处理装置 [P].

中务胜吉 ;

小笠原和久 ;

堺原义晶 ;

春木佳弘 ;

川手宗则 .

中国专利 :CN100490083C ,2006-06-14

[9]

衬底处理方法和衬底处理装置 [P].

中务胜吉 ;

小笠原和久 ;

堺原义晶 ;

春木佳弘 ;

川手宗则 .

中国专利 :CN1791968A ,2006-06-21

[10]

衬底处理装置和衬底处理方法 [P].

长野泰博 ;

伊藤规宏 ;

佐竹圭吾 ;

饭野正 .

中国专利 :CN1324407C ,2003-10-15

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