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一种管状靶材及其制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411477919.X
申请日
:
2024-10-22
公开(公告)号
:
CN119501076A
公开(公告)日
:
2025-02-25
发明(设计)人
:
王思伦
崔子振
杨亚飞
朱晗
邓太庆
张德智
杜宝宪
耿琼
申请人
:
航天材料及工艺研究所
申请人地址
:
100076 北京市丰台区南大红门路1号
IPC主分类号
:
B22F7/08
IPC分类号
:
C23C14/35
B22F3/15
C22C14/00
C22C1/04
B22F5/12
C22C27/06
C22C27/04
B22F3/24
代理机构
:
中国航天科技专利中心 11009
代理人
:
王梓靖
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-03-14
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):B22F 7/08申请日:20241022
2025-02-25
公开
公开
共 50 条
[1]
一种管状靶材及其制备方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
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潘杰
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潘杰
;
王学泽
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王学泽
;
孙慧芳
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孙慧芳
;
吴东青
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吴东青
.
中国专利
:CN113337799A
,2021-09-03
[2]
一种管状铬靶材的制备方法
[P].
刘慧渊
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刘慧渊
.
中国专利
:CN109972100A
,2019-07-05
[3]
一种钛基管状合金靶材及其制备方法
[P].
张凤戈
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
张凤戈
;
魏铁峰
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
魏铁峰
;
岳万祥
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
岳万祥
;
张欠男
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
张欠男
;
张学华
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
张学华
;
孟晓亭
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
孟晓亭
.
中国专利
:CN116145090B
,2024-04-12
[4]
一种管状ITO靶材的制备方法
[P].
梅方胜
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梅方胜
;
陈立三
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陈立三
;
彭小苏
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彭小苏
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赵为上
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赵为上
;
陈卫飞
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陈卫飞
;
佘旭
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佘旭
;
李文伟
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李文伟
.
中国专利
:CN108002815A
,2018-05-08
[5]
一种MoTiNi靶材及其制备方法与应用
[P].
姚力军
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
黄洁文
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
黄洁文
;
周友平
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
周友平
;
吴东青
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
吴东青
.
中国专利
:CN119530583A
,2025-02-28
[6]
一种TiAl靶材及其制备方法
[P].
刘浩
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
刘浩
;
马国成
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
马国成
;
王小兰
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
王小兰
;
童培云
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先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
童培云
;
高建成
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
高建成
;
束泽林
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机构:
先导薄膜材料(安徽)有限公司
先导薄膜材料(安徽)有限公司
束泽林
.
中国专利
:CN119899957A
,2025-04-29
[7]
一种钽靶材及其制备方法
[P].
姚力军
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姚力军
;
边逸军
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边逸军
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潘杰
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潘杰
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王学泽
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王学泽
;
江胜君
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江胜君
.
中国专利
:CN113136554A
,2021-07-20
[8]
一种制备管状ITO靶材的工艺方法
[P].
王文军
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王文军
;
刘敏
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刘敏
;
张天芳
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张天芳
.
中国专利
:CN108569890A
,2018-09-25
[9]
一种NiCrAlY合金靶材及其制备方法
[P].
张凤戈
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
张凤戈
;
孟晓亭
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
孟晓亭
;
魏铁峰
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
魏铁峰
;
张学华
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
张学华
;
姚伟
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机构:
苏州六九新材料科技有限公司
苏州六九新材料科技有限公司
姚伟
.
中国专利
:CN117733157A
,2024-03-22
[10]
一种含硼合金靶材及其制备方法
[P].
张路长
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张路长
;
张凤戈
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张凤戈
;
郝权
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郝权
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姜海
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姜海
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唐培新
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唐培新
;
何向晖
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何向晖
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赵雷
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赵雷
;
缪磊
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缪磊
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中国专利
:CN105925865A
,2016-09-07
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