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归正装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411643878.7
申请日：
2024-11-15
公开(公告)号：
CN119542231A
公开(公告)日：
2025-02-28
发明(设计)人：
杨星
孙增强
田永安
申请人：
北京七星华创集成电路装备有限公司
申请人地址：
101312 北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号
IPC主分类号：
H01L21/68
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
天津市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/68申请日:20241115 |
| 2025-02-28 | 公开 | 公开 |