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一种乙硼烷纯化方法及设备
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411711579.2
申请日
:
2024-11-27
公开(公告)号
:
CN119528088A
公开(公告)日
:
2025-02-28
发明(设计)人
:
沈锋
林峰
栗鹏伟
王超
申请人
:
浙江瑞亨电子材料有限公司
申请人地址
:
312300 浙江省绍兴市上虞区杭州湾上虞经济开发区振兴大道东段336号
IPC主分类号
:
C01B6/34
IPC分类号
:
C01B6/10
B01D3/14
B01D3/32
B01D1/28
B01D1/30
B01D15/08
代理机构
:
浙江维创盈嘉专利代理有限公司 33477
代理人
:
李明
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
河北省 衡水市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-03-18
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C01B 6/34申请日:20241127
2025-02-28
公开
公开
共 50 条
[1]
乙硼烷的制备和纯化
[P].
D·S·拉约里尔
论文数:
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D·S·拉约里尔
.
中国专利
:CN1309619A
,2001-08-22
[2]
一种电子乙硼烷纯化装置
[P].
郑经纬
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机构:
博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
郑经纬
;
陈国富
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机构:
博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
陈国富
;
陈学胜
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机构:
博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
陈学胜
;
胡超群
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
胡超群
;
陈金彬
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
陈金彬
;
缪振华
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
缪振华
;
吴超农
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
吴超农
;
林贵函
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
林贵函
;
陈锦祥
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
陈锦祥
;
林志建
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
林志建
;
赖国栋
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博纯(泉州)半导体材料有限公司
博纯(泉州)半导体材料有限公司
赖国栋
.
中国专利
:CN121060448A
,2025-12-05
[3]
一种高纯乙硼烷的制备纯化方法
[P].
张威
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张威
;
闫云
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闫云
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李旭
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李旭
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刘跃旭
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刘跃旭
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杨雷雷
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杨雷雷
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袁瑞玲
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袁瑞玲
;
樊文端
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樊文端
;
孔宪然
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孔宪然
.
中国专利
:CN115403011A
,2022-11-29
[4]
一种乙硼烷生产用乙硼烷干燥装置
[P].
曹永杰
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曹永杰
.
中国专利
:CN208487937U
,2019-02-12
[5]
一种电子级乙硼烷纯化装置
[P].
张杰
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浙江英德赛半导体材料股份有限公司
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
张杰
;
柯麟
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机构:
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
柯麟
;
朱强
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浙江英德赛半导体材料股份有限公司
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
朱强
;
李同健
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浙江英德赛半导体材料股份有限公司
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
李同健
;
肖春林
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浙江英德赛半导体材料股份有限公司
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
肖春林
;
朱天琪
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机构:
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
浙江英德赛半导体材料股份有限公司
朱天琪
.
中国专利
:CN221309569U
,2024-07-12
[6]
一种乙硼烷合成系统及方法
[P].
陈国富
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陈国富
;
龚施健
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龚施健
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于胜
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于胜
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陈金彬
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陈金彬
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林海宁
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林海宁
.
中国专利
:CN112452278B
,2021-03-09
[7]
连续精馏乙硼烷设备
[P].
杨洪娟
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杨洪娟
;
刘锟
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刘锟
.
中国专利
:CN209530129U
,2019-10-25
[8]
乙硼烷质量检测结构及检测方法
[P].
李志栓
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李志栓
;
杨彦涛
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杨彦涛
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孙健
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孙健
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罗宁
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罗宁
.
中国专利
:CN105280513A
,2016-01-27
[9]
一种乙硼烷尾气处理装置
[P].
金向华
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金向华
;
齐相前
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齐相前
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许军州
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许军州
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王新喜
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王新喜
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孙猛
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孙猛
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王亚亮
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王亚亮
.
中国专利
:CN210905638U
,2020-07-03
[10]
一种乙硼烷的制备方法
[P].
廖仕学
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廖仕学
;
康卫兵
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康卫兵
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李芳
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李芳
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陆华文
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陆华文
;
段良鹏
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段良鹏
.
中国专利
:CN112645284B
,2022-04-19
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