一种乙硼烷纯化方法及设备

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411711579.2
申请日
2024-11-27
公开(公告)号
CN119528088A
公开(公告)日
2025-02-28
发明(设计)人
沈锋 林峰 栗鹏伟 王超
申请人
浙江瑞亨电子材料有限公司
申请人地址
312300 浙江省绍兴市上虞区杭州湾上虞经济开发区振兴大道东段336号
IPC主分类号
C01B6/34
IPC分类号
C01B6/10 B01D3/14 B01D3/32 B01D1/28 B01D1/30 B01D15/08
代理机构
浙江维创盈嘉专利代理有限公司 33477
代理人
李明
法律状态
实质审查的生效
国省代码
河北省 衡水市
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共 50 条
[1]
乙硼烷的制备和纯化 [P]. 
D·S·拉约里尔 .
中国专利 :CN1309619A ,2001-08-22
[2]
一种电子乙硼烷纯化装置 [P]. 
郑经纬 ;
陈国富 ;
陈学胜 ;
胡超群 ;
陈金彬 ;
缪振华 ;
吴超农 ;
林贵函 ;
陈锦祥 ;
林志建 ;
赖国栋 .
中国专利 :CN121060448A ,2025-12-05
[3]
一种高纯乙硼烷的制备纯化方法 [P]. 
张威 ;
闫云 ;
李旭 ;
刘跃旭 ;
杨雷雷 ;
袁瑞玲 ;
樊文端 ;
孔宪然 .
中国专利 :CN115403011A ,2022-11-29
[4]
一种乙硼烷生产用乙硼烷干燥装置 [P]. 
曹永杰 .
中国专利 :CN208487937U ,2019-02-12
[5]
一种电子级乙硼烷纯化装置 [P]. 
张杰 ;
柯麟 ;
朱强 ;
李同健 ;
肖春林 ;
朱天琪 .
中国专利 :CN221309569U ,2024-07-12
[6]
一种乙硼烷合成系统及方法 [P]. 
陈国富 ;
龚施健 ;
于胜 ;
陈金彬 ;
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中国专利 :CN112452278B ,2021-03-09
[7]
连续精馏乙硼烷设备 [P]. 
杨洪娟 ;
刘锟 .
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[8]
乙硼烷质量检测结构及检测方法 [P]. 
李志栓 ;
杨彦涛 ;
孙健 ;
罗宁 .
中国专利 :CN105280513A ,2016-01-27
[9]
一种乙硼烷尾气处理装置 [P]. 
金向华 ;
齐相前 ;
许军州 ;
王新喜 ;
孙猛 ;
王亚亮 .
中国专利 :CN210905638U ,2020-07-03
[10]
一种乙硼烷的制备方法 [P]. 
廖仕学 ;
康卫兵 ;
李芳 ;
陆华文 ;
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