一种氧化镓陶瓷靶材的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411806096.0

申请日：

2024-12-10

公开(公告)号：

CN119504232A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

高晨欣陈飞陈晨

申请人：

浙江光电子研究院

申请人地址：

321000 浙江省金华市婺城区北山路285号

IPC主分类号：

C04B35/01

IPC分类号：

C04B35/622 C04B35/638 C04B35/64

代理机构：

南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273

代理人：

吴太平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/01申请日:20241210
2025-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化镓掺杂氧化锡陶瓷靶材及制备方法 [P].

陈杰 ;

齐超 ;

孙本双 ;

淮志远 ;

何季麟 .

中国专利 :CN112723875B ,2021-04-30

[2]

用于RPD薄膜的氧化锡镓陶瓷靶材的制备方法 [P].

陈杰 ;

王诗 ;

王延宇 ;

王海龙 ;

孙本双 ;

何季麟 .

中国专利 :CN118026665A ,2024-05-14

[3]

一种氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

纪生晓 ;

李强 ;

杨涛 ;

林智成 ;

官凌宇 .

中国专利 :CN120794609A ,2025-10-17

[4]

一种氧化锡陶瓷靶材及其制备方法 [P].

杨涛 ;

李强 ;

邱用雪 ;

林智成 ;

官凌宇 ;

纪生晓 ;

张汉都 .

中国专利 :CN120794610A ,2025-10-17

[5]

一种锌镓氧化物陶瓷靶材及其制备方法和应用 [P].

庄大明 ;

张弓 ;

方玲 ;

侯亚奇 ;

杨波 ;

赵方红 .

中国专利 :CN1413947A ,2003-04-30

[6]

一种氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法 [P].

温艳玲 .

中国专利 :CN118930250A ,2024-11-12

[7]

掺杂镓钬的氧化锡靶材及其制备方法 [P].

李开杰 ;

王奇峰 ;

罗斯诗 ;

林世洪 ;

盘君华 .

中国专利 :CN118908720A ,2024-11-08

[8]

一种锌镓铝三元氧化物旋转陶瓷靶材及其制备方法 [P].

刘秉宁 ;

刘孝宁 ;

张红梅 ;

杨小林 ;

征卫星 ;

韩建华 ;

宋强 ;

胡强楠 ;

方熙成 ;

刘伟 ;

王应旺 ;

刘东平 .

中国专利 :CN103695849A ,2014-04-02

[9]

一种氧化铈陶瓷靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

汪焱斌 ;

慕二龙 ;

陈石 .

中国专利 :CN121135413A ,2025-12-16

[10]

一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法 [P].

顾德盛 ;

邵学亮 ;

王奇峰 ;

张兴宇 ;

罗斯诗 .

中国专利 :CN116813310B ,2024-06-07

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