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一种静电卡盘的制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411744486.X
申请日：
2024-11-30
公开(公告)号：
CN119549991A
公开(公告)日：
2025-03-04
发明(设计)人：
石锗元 裘祝恒 李君 洪元杓 陈振宁 李海南 肖伟
申请人：
君原电子科技（海宁）有限公司
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢
IPC主分类号：
B23P15/00
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
河北省 衡水市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-04 公开 公开
2025-03-21 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B23P 15/00申请日:20241130
共 50 条
[1]
一种静电卡盘及其制备方法 [P]. 
李君 ;
吴振平 ;
石锗元 ;
肖伟 .
中国专利 :CN119993893A ,2025-05-13
[2]
静电卡盘及静电卡盘的制备方法 [P]. 
周山山 ;
司合帅 .
中国专利 :CN119050042A ,2024-11-29
[3]
一种静电卡盘 [P]. 
石锗元 ;
陈茂雄 ;
李君 ;
肖伟 .
中国专利 :CN114743897A ,2022-07-12
[4]
一种静电卡盘 [P]. 
裘祝恒 ;
石锗元 ;
李君 ;
肖伟 .
中国专利 :CN220914197U ,2024-05-07
[5]
一种静电卡盘 [P]. 
李君 ;
石锗元 ;
陈茂雄 ;
肖伟 .
中国专利 :CN218215249U ,2023-01-03
[6]
一种静电卡盘 [P]. 
陈茂雄 ;
李君 ;
石锗元 ;
肖伟 .
中国专利 :CN218215250U ,2023-01-03
[7]
一种静电卡盘及其制备方法 [P]. 
李君 ;
石锗元 ;
陈茂雄 ;
肖伟 .
中国专利 :CN115621186A ,2023-01-17
[8]
一种静电卡盘及其制备方法 [P]. 
李轶凡 ;
房纯君 ;
李博 ;
张荦 ;
艾俊迪 ;
邱东兴 .
中国专利 :CN121035036A ,2025-11-28
[9]
一种氮化铝静电卡盘的制备方法 [P]. 
李君 ;
朱赞宇 ;
石锗元 .
中国专利 :CN121021156A ,2025-11-28
[10]
一种静电卡盘的制备方法 [P]. 
石锗元 ;
李博仁 ;
李君 .
中国专利 :CN120886401A ,2025-11-04
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