二维双轴压电MEMS微镜

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311067233.9

申请日：

2023-08-23

公开(公告)号：

CN119511525A

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

汪元杰邢建鹏宋宏岩

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G02B26/08

IPC分类号：

代理机构：

北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386

代理人：

刘镜

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2025-03-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G02B 26/08申请日:20230823
2025-02-25	公开	公开

共 50 条

[1]

二维双轴压电MEMS微镜 [P].

汪元杰 ;

邢建鹏 ;

宋宏岩 .

中国专利 :CN119511525B ,2025-10-17

[2]

一种二维MEMS微镜 [P].

陈巧 ;

张程浩 ;

陈亮 ;

刘洪琼 ;

刘运兵 .

中国专利 :CN216956522U ,2022-07-12

[3]

MEMS压电微镜 [P].

熊笔锋 ;

倪伟鉴 .

中国专利 :CN118226637A ,2024-06-21

[4]

一种混合驱动的二维MEMS微镜 [P].

陈巧 .

中国专利 :CN213987028U ,2021-08-17

[5]

一种压电驱动二维扫描微镜 [P].

李文翔 .

中国专利 :CN205281014U ,2016-06-01

[6]

一种压电驱动二维扫描微镜 [P].

李文翔 .

中国专利 :CN105403997A ,2016-03-16

[7]

一种MEMS微镜的二维扫描方法 [P].

王昌浩 ;

陈建霖 ;

王楠 .

中国专利 :CN118605010A ,2024-09-06

[8]

压电驱动二维微进给平台 [P].

李东明 ;

叶红盼 ;

罗姜 ;

田小静 .

中国专利 :CN105904232A ,2016-08-31

[9]

一种e31压电驱动的双轴MEMS微射镜 [P].

吴涛 ;

刘康福 ;

陆瑶卿 .

中国专利 :CN118151368A ,2024-06-07

[10]

MEMS微镜、制造方法及基于该微镜的二维电磁式微扫描镜 [P].

李晨 ;

杨宣 ;

陈帅 .

中国专利 :CN118908146A ,2024-11-08

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