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研磨パッド、研磨装置、物品の製造方法、研磨パッドの製造方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20240001513
申请日：
2024-01-09
公开(公告)号：
JP2025031464A
公开(公告)日：
2025-03-07
发明(设计)人：
KONUMA YOSHIKI TSUJI TOMOAKI KAKU DAIKI FUNABASHI KATSUHIRO
申请人：
CANON KK
申请人地址：
IPC主分类号：
B24B37/24
IPC分类号：
B24B37/10 B24B37/12 B24B37/22 H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
研磨パッド、研磨装置、研磨パッドの製造方法、および被研磨物の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025165273A ,2025-11-04
[2]
研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
KURIHARA HIROSHI ;
YAMAGUCHI SATSUKI ;
TAKAMIZAWA YAMATO .
日本专利 :JP2025013614A ,2025-01-24
[3]
研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
KURIHARA HIROSHI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
OCHI KEISUKE ;
MORIAKI RYOMA ;
CHEN YIJU .
日本专利 :JP2025060447A ,2025-04-10
[4]
研磨パッド及び研磨パッドの製造方法[ja] [P]. 
TATENO TEPPEI ;
KURIHARA HIROSHI ;
TAKAMIZAWA YAMATO ;
KAWASAKI TETSUAKI ;
OCHI KEISUKE ;
MORIAKI RYOMA .
日本专利 :JP2025059378A ,2025-04-10
[5]
研磨パッド、及び研磨加工物の製造方法[ja] [P]. 
SASATANI KENTA .
日本专利 :JP2024144933A ,2024-10-15
[6]
研磨ユニット、研磨装置、及び研磨パッドの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7518645B2 ,2024-07-18
[7]
研磨装置、研磨パッドの配置方法、及び研磨パッド[ja] [P]. 
日本专利 :JP6170356B2 ,2017-07-26
[8]
研磨パッド及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015037606A1 ,2017-03-02
[9]
研磨パッド及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025156108A ,2025-10-14
[10]
研磨パッド及びその製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2015178289A1 ,2017-04-20
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