共 50 条
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基板保持装置および基板処理装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20240060178
申请日：
2024-04-03
公开(公告)号：
JP7638417B2
公开(公告)日：
2025-03-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
B24B41/06
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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