共 50 条
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静電チャックおよびサセプタ[ja]
被引：0
申请号：
JP20240505120
申请日：
2023-06-08
公开(公告)号：
JP7639238B1
公开(公告)日：
2025-03-04
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
C23C14/50
C23C16/458
H01L21/3065
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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