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描画データ生成方法、描画データ生成装置、荷電粒子ビーム描画装置、及びプログラム[ja]

被引：0
申请号：
JP20230132757
申请日：
2023-08-17
公开(公告)号：
JP2025027703A
公开(公告)日：
2025-02-28
发明(设计)人：
KITAHATA ATSUSHI SAKAMOTO SHINJI
申请人：
NUFLARE TECHNOLOGY INC
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
描画データ生成方法、描画データ生成装置、荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子ビーム描画装置及びプログラム[ja] [P]. 
YASUI KENICHI ;
KAJIWARA YUKO .
日本专利 :JP2025109041A ,2025-07-24
[2]
描画データ生成プログラム、描画データ生成装置、及び描画データ生成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6699730B2 ,2020-05-27
[3]
描画データ生成プログラム、描画データ生成装置、及び描画データ生成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018020647A1 ,2019-05-16
[4]
描画データ生成装置、描画データ生成方法及びプログラム[ja] [P]. 
日本专利 :JP7020020B2 ,2022-02-16
[5]
描画データ生成装置、描画データ生成方法及び表示装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014126049A1 ,2017-02-02
[6]
描画データ生成装置及び画像描画装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5653541B2 ,2015-01-14
[7]
描画データ生成装置及び画像描画装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013111195A1 ,2015-05-11
[8]
描画データ生成装置および描画装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5883817B2 ,2016-03-15
[9]
データ生成装置、データ生成方法及びデータ生成プログラム[ja] [P]. 
日本专利 :JP6544716B2 ,2019-07-17
[10]
データ生成方法、データ生成装置及びデータ生成プログラム[ja] [P]. 
日本专利 :JP6844327B2 ,2021-03-17
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