一种大尺寸公共掩膜版

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420627901.2

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN222574752U

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

周俊吉

申请人：

成都拓维高科光电科技有限公司

申请人地址：

610000 四川省成都市高新区康强一路1188号

IPC主分类号：

C23C14/04

IPC分类号：

C23C14/24

代理机构：

成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276

代理人：

谭新民

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种大尺寸片状掩膜版 [P].

周俊吉 .

中国专利 :CN222574754U ,2025-03-07

[2]

一种大尺寸掩膜版产线的掩膜版观察机构 [P].

耿凯卿 ;

熊启龙 .

中国专利 :CN223673655U ,2025-12-16

[3]

一种大尺寸掩膜版清洗装置 [P].

叶小稳 ;

熊启龙 .

中国专利 :CN222896343U ,2025-05-23

[4]

一种大尺寸掩膜版清洗承载装置 [P].

李伟 ;

熊启龙 .

中国专利 :CN220553080U ,2024-03-01

[5]

一种用于大尺寸线掩膜版的转运包装 [P].

肖青 ;

陈俊荣 ;

刘伟 .

中国专利 :CN213921943U ,2021-08-10

[6]

一种用于大尺寸线掩膜版的转运装置 [P].

林伟 ;

肖鑫 .

中国专利 :CN209351733U ,2019-09-06

[7]

一种掩膜版及掩膜版组件 [P].

安乐平 .

中国专利 :CN210529038U ,2020-05-15

[8]

一种掩膜版框架、掩膜版组件 [P].

钱超 ;

杨波 .

中国专利 :CN213295480U ,2021-05-28

[9]

一种新型掩膜版尺寸测量装置 [P].

校微娜 .

中国专利 :CN213090630U ,2021-04-30

[10]

一种小尺寸掩膜版定位装置 [P].

林超 ;

林伟 .

中国专利 :CN214751328U ,2021-11-16

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