旋转式自清洁刻蚀装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411595601.1

申请日：

2024-11-11

公开(公告)号：

CN119108333B

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

张陈斌张超宋永辉王世宽

申请人：

无锡尚积半导体科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67 H01J37/32

代理机构：

无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙) 32517

代理人：

屠志力

法律状态：

著录事项变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-24	著录事项变更	著录事项变更IPC(主分类):H01L 21/687变更事项:申请人变更前:无锡尚积半导体科技有限公司变更后:无锡尚积半导体科技股份有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房变更后:214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房
2024-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/687申请日:20241111
2024-12-10	公开	公开
2025-03-14	授权	授权

共 50 条

[1]

旋转式自清洁刻蚀装置 [P].

张陈斌 ;

张超 ;

宋永辉 ;

王世宽 .

中国专利 :CN119108333A ,2024-12-10

[2]

旋转式筒夹清洁装置 [P].

吴德欣 .

中国专利 :CN221493377U ,2024-08-09

[3]

一种旋转式自清洁滤芯 [P].

李绍安 ;

罗文豹 ;

李维嘉 .

中国专利 :CN204656102U ,2015-09-23

[4]

旋转式输入装置 [P].

山口光有 .

中国专利 :CN100511536C ,2006-01-18

[5]

旋转式激光扫描装置 [P].

刘庆京 ;

蒋柏娴 ;

蒋伟 .

中国专利 :CN108227183B ,2024-05-17

[6]

旋转式激光扫描装置 [P].

刘庆京 ;

蒋柏娴 ;

蒋伟 .

中国专利 :CN108227183A ,2018-06-29

[7]

旋转式运输装置 [P].

邓涛 ;

唐鹏 ;

邓永梁 ;

李鑫 ;

罗远平 .

中国专利 :CN105858073A ,2016-08-17

[8]

旋转式激光扫描装置 [P].

刘庆京 ;

蒋柏娴 ;

蒋伟 .

中国专利 :CN208334781U ,2019-01-04

[9]

旋转式物品分类装置 [P].

连志刚 ;

杨浩强 ;

洪超 ;

张体鹏 .

中国专利 :CN113666047A ,2021-11-19

[10]

可旋转式杀虫装置 [P].

蒲正渠 ;

蒲坤林 ;

范莉娜 ;

安全民 ;

李海艳 .

中国专利 :CN223168999U ,2025-08-01

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