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| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-07 | 授权 | 授权 |
| 2025-09-09 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、国籍和地址的变更IPC(主分类):G01N 27/416变更事项:专利权人变更前:江苏福拉特自动化设备有限公司变更后:江苏福拉特半导体设备有限公司变更事项:国家或地区变更前:中国变更后:中国变更事项:地址变更前:江苏省南京市江宁区经济技术开发区红枫科技园C3栋西段第3层变更后:210038 江苏省南京市经济技术开发区智芯路2号红枫科技园D4栋偏东段1层 |