一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411733974.0

申请日：

2024-11-29

公开(公告)号：

CN119607692A

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

郭满锋陈官乐李云贞

申请人：

东莞市成田精密科技有限公司

申请人地址：

523570 广东省东莞市常平镇司马环保工业路5号厂房40栋303室

IPC主分类号：

B01D35/02

IPC分类号：

B01D29/27 B01D29/35 B01D29/56 B01D29/96 C23F1/08 C23F1/46 H01L21/67

代理机构：

合肥北越专利代理事务所(普通合伙) 34382

代理人：

李猛

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 35/02申请日:20241129

共 50 条

[1]

一种喷淋过滤装置以及蚀刻系统 [P].

贺海龙 .

中国专利 :CN214763676U ,2021-11-19

[2]

喷淋过滤装置 [P].

何文光 .

中国专利 :CN104492147A ,2015-04-08

[3]

喷淋过滤装置 [P].

张跃 .

中国专利 :CN2406198Y ,2000-11-15

[4]

一种喷淋过滤装置 [P].

董兴广 ;

林树光 ;

罗俊生 ;

刘振 .

中国专利 :CN206577474U ,2017-10-24

[5]

一种喷淋过滤装置 [P].

蒋忠良 ;

唐夕正 ;

侯居峰 .

中国专利 :CN105945021A ,2016-09-21

[6]

一种喷淋过滤装置 [P].

徐应刚 .

中国专利 :CN105903737A ,2016-08-31

[7]

一种喷淋过滤装置 [P].

吴倩倩 .

中国专利 :CN205269326U ,2016-06-01

[8]

一种喷淋过滤装置 [P].

张绪美 ;

黄樟松 ;

严文峰 ;

朱方合 ;

郭晨 .

中国专利 :CN222384472U ,2025-01-24

[9]

一种喷淋过滤装置 [P].

陆惠芬 ;

黄学婷 ;

金朝阳 ;

邓朝辉 ;

钟桂华 ;

伍焕华 .

中国专利 :CN215026343U ,2021-12-07

[10]

一种喷淋过滤装置 [P].

吴倩倩 .

中国专利 :CN105413378A ,2016-03-23

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