一种基于变频超声波激励的清洗装置及清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510066343.6

申请日：

2025-01-16

公开(公告)号：

CN119694952A

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

黄新成刘源高建峰陈振世

申请人：

浙江芯星半导体装备有限公司

申请人地址：

313000 浙江省湖州市吴兴区八里店镇吴兴科创园20号厂房4楼443C

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B3/12 B08B3/08

代理机构：

重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213

代理人：

杨豪斌

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	公开	公开
2025-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250116

共 50 条

[1]

超声波清洗装置及超声波清洗方法 [P].

阿部达夫 ;

椛泽均 ;

新井泉 .

中国专利 :CN101959620B ,2011-01-26

[2]

超声波清洗装置及超声波清洗方法 [P].

柴野美雪 ;

奥野秦 ;

榊原正人 .

中国专利 :CN1723091A ,2006-01-18

[3]

超声波清洗装置 [P].

邱平 ;

熊国新 .

中国专利 :CN108339803A ,2018-07-31

[4]

超声波清洗装置、超声波清洗方法 [P].

上川裕二 ;

稻富弘朗 ;

山本秀幸 ;

小宫洋司 ;

江头浩司 .

中国专利 :CN102029273A ,2011-04-27

[5]

一种超声波清洗装置 [P].

李承勇 ;

申哲 ;

李龙飞 ;

金星 ;

郑国锋 .

中国专利 :CN212418936U ,2021-01-29

[6]

一种超声波清洗装置 [P].

田丹琪 ;

刘才进 ;

田维明 ;

韩有盛 ;

郑雪云 .

中国专利 :CN220781579U ,2024-04-16

[7]

基于超声波清洗装置的样本针超声波清洗方法 [P].

陈鑫宏 ;

陈启源 ;

周冬 ;

黄耀波 .

中国专利 :CN117324313A ,2024-01-02

[8]

一种超声波清洗装置的控制方法及超声波清洗装置 [P].

邓金柱 ;

许升 ;

吕佩师 ;

李书平 ;

迟荣红 .

中国专利 :CN110857496A ,2020-03-03

[9]

一种超声波清洗装置的控制方法及超声波清洗装置 [P].

邓金柱 ;

许升 ;

吕佩师 ;

李书平 .

中国专利 :CN110863321A ,2020-03-06

[10]

超声波清洗装置及清洗方法 [P].

椛澤均 ;

阿部达夫 .

中国专利 :CN105164792A ,2015-12-16

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