缺陷检测系统及缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411793051.4

申请日：

2024-12-06

公开(公告)号：

CN119626926A

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

赵天天

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层（自主申报）

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67 G01N21/95 G01N21/88 G01N21/01

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李慧慧

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241206

共 50 条

[1]

缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

杨东 ;

李阳 ;

李久航 ;

熊荣 ;

张海滨 ;

李红川 ;

王融慧 ;

潘彦霖 ;

杨歌 ;

何云 ;

马永生 .

中国专利 :CN119666984A ,2025-03-21

[2]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

梅红伟 ;

涂彦昕 ;

胡伟 ;

刘健犇 ;

刘立帅 ;

王黎明 .

中国专利 :CN110031511B ,2019-07-19

[3]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

张勤 ;

付翔宇 ;

李国军 .

中国专利 :CN117949458A ,2024-04-30

[4]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

孟阳 ;

王伟斌 .

中国专利 :CN112444526A ,2021-03-05

[5]

缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

中野拓巳 .

中国专利 :CN103635169A ,2014-03-12

[6]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

王星泽 ;

舒远 .

中国专利 :CN111344559A ,2020-06-26

[7]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

王通 ;

许继仁 ;

林庆儒 .

中国专利 :CN111189845A ,2020-05-22

[8]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

陈建辉 .

中国专利 :CN109725499B ,2019-05-07

[9]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

金绍彤 ;

许平康 ;

方桂芹 .

中国专利 :CN110346394A ,2019-10-18

[10]

缺陷检测方法及缺陷检测系统 [P].

孟阳 ;

王伟斌 .

中国专利 :CN112444526B ,2025-03-21

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