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保护溶液涂覆设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202420819198.5
申请日：
2024-04-19
公开(公告)号：
CN222625047U
公开(公告)日：
2025-03-18
发明(设计)人：
鲁聪
刘楚连
申请人：
苏州共进微电子技术有限公司
申请人地址：
215400 江苏省苏州市太仓市陆渡街道郑和中路89号4#
IPC主分类号：
B05B15/55
IPC分类号：
H01L21/67
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
刘锋
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-18 | 授权 | 授权 |