基片扩散装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420267325.5

申请日：

2024-02-02

公开(公告)号：

CN222674860U

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

汪小永廖宝臣陈云张敏曹炜博种世平

申请人：

江苏微导纳米科技股份有限公司

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区长江南路27号

IPC主分类号：

H10F71/00

IPC分类号：

H10F10/00

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

朱砚耘

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	授权	授权

共 50 条

[1]

扩散装置 [P].

严佩佩 ;

王榕 .

中国专利 :CN120043351A ,2025-05-27

[2]

硼扩散装置 [P].

严佩佩 ;

简磊 ;

黄剑 ;

王榕 .

中国专利 :CN223428823U ,2025-10-10

[3]

气体扩散装置 [P].

申屠永权 .

中国专利 :CN203139874U ,2013-08-21

[4]

气体扩散装置 [P].

申屠永权 .

中国专利 :CN103120883B ,2013-05-29

[5]

扩散装置 [P].

林东邦 .

中国专利 :CN2725939Y ,2005-09-14

[6]

扩散装置 [P].

迈克尔·理查德·艾柯霍尔姆 ;

本杰明·A·施密特 .

中国专利 :CN105377397B ,2016-03-02

[7]

扩散装置 [P].

周天毫 .

中国专利 :CN105797620A ,2016-07-27

[8]

扩散装置 [P].

周天毫 .

中国专利 :CN205760793U ,2016-12-07

[9]

扩散装置 [P].

乔基姆·勒歇尔 ;

拉尔夫·弗利格 ;

托斯坦·克内尔 ;

斯蒂芬·瓦格纳 ;

克里斯托弗·贝克 ;

M·勒夫勒 .

:CN115768549B ,2025-11-25

[10]

扩散装置 [P].

D·多纳托 ;

M·科尔布 .

中国专利 :CN113226521A ,2021-08-06

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