一种摆动喷淋装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420551657.6
申请日
2024-03-20
公开(公告)号
CN222580403U
公开(公告)日
2025-03-07
发明(设计)人
程强强 李盛助 李英杰
申请人
无锡釜川科技股份有限公司
申请人地址
214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
IPC主分类号
G03F7/30
IPC分类号
B08B3/02 B08B3/08 B08B13/00 H01L21/67 H10F71/00
代理机构
常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409
代理人
马骄霞
法律状态
授权
国省代码
江苏省 无锡市
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共 50 条
[1]
一种摆动喷淋装置 [P]. 
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王新璐 .
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[2]
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中国专利 :CN101972747A ,2011-02-16
[3]
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陈宏 .
中国专利 :CN201755565U ,2011-03-09
[4]
一种显影设备及其摆动喷淋装置 [P]. 
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[9]
一种脱硫塔喷淋装置 [P]. 
耿海鹏 ;
王剑 ;
啜俊亮 ;
李谦宇 ;
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游建兵 ;
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[10]
一种圆筛自动摆动喷淋清洗装置 [P]. 
张成飞 ;
张益安 ;
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