MEMS一氧化碳传感器气敏薄膜及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111149527.7

申请日：

2021-09-29

公开(公告)号：

CN114624293B

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

贺耀宜张振王海波张清周李兵颜培宇王芳张海庆胡文涛张一波

申请人：

天地（常州）自动化股份有限公司中煤科工集团常州研究院有限公司

申请人地址：

213100 江苏省常州市新北区黄河西路219号

IPC主分类号：

G01N27/12

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/08

代理机构：

常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409

代理人：

朱丽莎

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	授权	授权

共 50 条

[1]

MEMS一氧化碳传感器气敏薄膜及其制备方法 [P].

贺耀宜 ;

张振 ;

王海波 ;

张清 ;

周李兵 ;

颜培宇 ;

王芳 ;

张海庆 ;

胡文涛 ;

张一波 .

中国专利 :CN114624293A ,2022-06-14

[2]

一种一氧化碳气敏材料、制备方法及一氧化碳传感器 [P].

魏晶 ;

李萍 .

中国专利 :CN121068709A ,2025-12-05

[3]

一氧化碳传感器 [P].

张景然 ;

黄中豪 .

中国专利 :CN305371304S ,2019-10-01

[4]

一氧化碳传感器 [P].

贾西阁 ;

苏畅 .

中国专利 :CN202393738U ,2012-08-22

[5]

一氧化碳传感器 [P].

蒋鹏 ;

张龙淮 ;

李智 ;

肖勇 ;

陈玉平 .

中国专利 :CN201803971U ,2011-04-20

[6]

一氧化碳传感器 [P].

林贞发 ;

林惠华 ;

李达 ;

陈锐哲 .

中国专利 :CN304925621S ,2018-12-04

[7]

一氧化碳传感器 [P].

王相 ;

林虹宇 ;

庞喜龙 ;

杜中鹏 ;

陶渊 .

中国专利 :CN306906272S ,2021-10-29

[8]

一氧化碳传感器 [P].

王培忠 ;

王慧 ;

陈浩 .

中国专利 :CN107655953A ,2018-02-02

[9]

一氧化碳传感器 [P].

钟云龙 .

中国专利 :CN307422766S ,2022-06-28

[10]

一氧化碳传感器 [P].

冼华明 .

中国专利 :CN308657315S ,2024-05-28

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