适用于半导体加工设备的隔膜阀

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421462856.6

申请日：

2024-06-25

公开(公告)号：

CN222596846U

公开(公告)日：

2025-03-11

发明(设计)人：

王铭志杨万郑振祥

申请人：

先微精艺（苏州）科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区鸿禧路32号15幢

IPC主分类号：

F16K7/12

IPC分类号：

F16K27/00 F16K31/60

代理机构：

北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357

代理人：

邢彬

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

用于半导体加工设备的保护罩及半导体加工设备 [P].

林柯君 .

中国专利 :CN220537913U ,2024-02-27

[2]

用于半导体加工设备的吸收罩及半导体加工设备 [P].

侯军令 ;

陈宇 .

中国专利 :CN214588732U ,2021-11-02

[3]

一种用于半导体行业的高纯隔膜阀 [P].

祁建鑫 ;

蒋宏业 ;

塞伦·斯蒂芬 ;

梁峰 .

中国专利 :CN218440779U ,2023-02-03

[4]

一种用于半导体行业的高纯隔膜阀 [P].

熊冬庆 ;

童铭洲 ;

周泉行 ;

黄博文 ;

付昭通 .

中国专利 :CN221610634U ,2024-08-27

[5]

一种适用于低温环境的隔膜阀 [P].

韩卫 ;

黄凤娇 ;

叶文兴 .

中国专利 :CN221221515U ,2024-06-25

[6]

适用于狭小空间的自动控制隔膜阀 [P].

丁杰 ;

尤其光 ;

孙一 .

中国专利 :CN202195138U ,2012-04-18

[7]

用于半导体加工设备的悬臂推拉舟系统及半导体加工设备 [P].

赵庆峰 ;

于皓洁 ;

王晓飞 .

中国专利 :CN211320070U ,2020-08-21

[8]

一种半导体沉积设备用隔膜阀 [P].

金亚鹏 ;

孟存瑞 ;

石岩 ;

孙治博 ;

刘增强 ;

康嘉宁 ;

崔一晨 ;

袁敏鑫 ;

张勇 .

中国专利 :CN120506527A ,2025-08-19

[9]

用于半导体加工设备的卸料装置及半导体加工设备 [P].

林欣家 ;

滕宇 ;

赵曾男 .

中国专利 :CN111063644A ,2020-04-24

[10]

用于半导体加工设备的转运组件及半导体加工设备 [P].

赵东华 ;

斯迎军 .

中国专利 :CN112309941A ,2021-02-02

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