一种靶磁控溅射镀膜机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410761229.0

申请日：

2024-06-13

公开(公告)号：

CN118685744B

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

宋永宾王鹏宋欣怡

申请人：

上海宾研机械有限责任公司

申请人地址：

200333 上海市普陀区祁连山南路2891弄100号3幢1层C102-138

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/56

代理机构：

合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152

代理人：

崔绪伸

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-24	公开	公开
2024-10-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20240613
2025-03-21	授权	授权
2025-02-28	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):C23C 14/35登记生效日:20250213变更事项:申请人变更前权利人:青岛和昱阳新材料有限公司变更后权利人:上海宾研机械有限责任公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:266109 山东省青岛市城阳区铁骑山路10号36号楼102（复式）变更后权利人:200333 上海市普陀区祁连山南路2891弄100号3幢1层C102-138

共 50 条

[1]

一种靶磁控溅射镀膜机 [P].

宋永宾 ;

王鹏 ;

宋欣怡 .

中国专利 :CN118685744A ,2024-09-24

[2]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

周征华 ;

李龙哲 ;

朱显君 ;

夏伟 ;

李花 ;

张亚芹 .

中国专利 :CN115584472A ,2023-01-10

[3]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

周征华 ;

李龙哲 ;

朱显君 ;

夏伟 ;

李花 ;

张亚芹 .

中国专利 :CN115584472B ,2024-09-27

[4]

磁控溅射镀膜机 [P].

李衍辉 ;

孙欲晓 ;

马风尘 ;

郭宝昆 .

中国专利 :CN222043332U ,2024-11-22

[5]

一种三靶磁控溅射镀膜机 [P].

韩成明 ;

王群伟 ;

李寰 .

中国专利 :CN2915883Y ,2007-06-27

[6]

金属靶材磁控溅射镀膜机 [P].

王国庆 .

中国专利 :CN222557040U ,2025-03-04

[7]

多靶磁控溅射镀膜机 [P].

龚俊 ;

佘鹏程 ;

陈庆广 ;

胡凡 .

中国专利 :CN303959837S ,2016-12-07

[8]

一种磁控溅射镀膜机 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

刘维龙 ;

魏佳 ;

黄桂祥 ;

卢成 .

中国专利 :CN121065650A ,2025-12-05

[9]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN209537612U ,2019-10-25

[10]

磁控溅射镀膜机 [P].

佘鹏程 ;

龚俊 ;

毛朝斌 ;

罗超 .

中国专利 :CN304096205S ,2017-04-05

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