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键合装置、键合方法及存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411675620.5
申请日：
2024-11-21
公开(公告)号：
CN119581344A
公开(公告)日：
2025-03-07
发明(设计)人：
杨猛
申请人：
拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
申请人地址：
314499 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号3幢
IPC主分类号：
H01L21/60
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
徐迪
法律状态：
公开
国省代码：
河北省
衡水市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-07 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/60申请日:20241121 |