参数估计系统、参数估计方法、计算机程序以及基板处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380056929.3

申请日：

2023-07-21

公开(公告)号：

CN119631171A

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

诹访亘

申请人：

东京毅力科创株式会社

申请人地址：

日本

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

C23C16/46 C23C16/52 H01L21/3065

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李靖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20230721

共 50 条

[1]

参数估计系统、参数估计装置、车辆、计算机程序和参数估计方法 [P].

片冈智美 .

中国专利 :CN112955762A ,2021-06-11

[2]

参数估计装置、系统、方法及计算机程序产品 [P].

三品气吹 ;

滨田浩气 ;

五十岚大 ;

菊池亮 .

日本专利 :CN116324935B ,2025-08-12

[3]

电池参数估计装置和参数估计方法 [P].

马场厚志 ;

足立修一 ;

丸田一郎 .

中国专利 :CN105659102A ,2016-06-08

[4]

握持参数估计设备和握持参数估计方法 [P].

土井龙太 .

日本专利 :CN117794709A ,2024-03-29

[5]

照相机参数估计装置、照相机参数估计方法 [P].

早川和孝 ;

佐藤智和 .

中国专利 :CN111107310A ,2020-05-05

[6]

照相机参数估计装置、照相机参数估计方法 [P].

早川和孝 ;

佐藤智和 .

日本专利 :CN111107310B ,2024-05-03

[7]

运动参数估计 [P].

S·卡布斯 ;

C·洛伦茨 ;

T·克林德 ;

J·冯贝格 .

中国专利 :CN104395933B ,2015-03-04

[8]

治疗参数估计 [P].

J·洛布西格 ;

B·S·托马舍夫斯基 ;

D·M·彼得 ;

N·B·休伯 .

美国专利 :CN119137674A ,2024-12-13

[9]

生理参数估计 [P].

艾西瓦娅·维斯瓦纳坦 ;

阿潘·帕尔 ;

阿尼律陀·辛哈 ;

罗汉·班纳吉 ;

阿尼尔班·杜塔·乔杜里 ;

阿底提·米什拉 ;

阿维克·高斯 .

中国专利 :CN106137175B ,2016-11-23

[10]

自动需求参数估计 [P].

吴思明 ;

Y·波普科弗 .

中国专利 :CN104040548A ,2014-09-10

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