電子部品及び荷電粒子ビーム照射装置[ja]

被引：0

申请号：

JP20230151758

申请日：

2023-09-19

公开(公告)号：

JP2025044065A

公开(公告)日：

2025-04-01

发明(设计)人：

AZUMA KAZUYUKI TSUMURA KAZUMICHI SAITO TOMOHIRO YODA TAKASHI OGASAWARA MUNEHIRO HIRAKAWA KENJI IWASE MASAYUKI

申请人：

TOSHIBA CORP NUFLARE TECHNOLOGY INC

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/027

IPC分类号：

G03F7/20 H01J37/09 H01J37/147

代理机构：

代理人：

法律状态：

国省代码：

引用

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共 50 条

[1]

電子部品及び荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

ONOZUKA YUTAKA ;

AZUMA KAZUYUKI ;

SAITO TOMOHIRO ;

GOTO YOSHIKUNI ;

SHINOHARA YOSHIAKI .

日本专利 :JP2025044137A ,2025-04-01

[2]

荷電粒子ビーム照射装置及び荷電粒子ビーム照射方法[ja] [P].

日本专利 :JP6210493B2 ,2017-10-11

[3]

荷電粒子源及び荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP6598005B2 ,2019-10-30

[4]

荷電粒子ビーム照射装置および荷電粒子ビーム照射方法[ja] [P].

日本专利 :JP7293042B2 ,2023-06-19

[5]

荷電粒子ビーム照射方法および荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP7646582B2 ,2025-03-17

[6]

荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP7094752B2 ,2022-07-04

[7]

荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP6461734B2 ,2019-01-30

[8]

荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP6775860B1 ,2020-10-28

[9]

荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP7482760B2 ,2024-05-14

[10]

荷電粒子ビーム照射装置[ja] [P].

日本专利 :JP6387476B1 ,2018-09-05

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