一种晶圆自动化生产控制系统及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410754135.0

申请日：

2024-06-12

公开(公告)号：

CN118782497B

公开(公告)日：

2025-04-01

发明(设计)人：

周尤姚华东班恒生刘柏宏谢波杨绪强

申请人：

安徽万维克林精密装备有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区天柱山大道西、硕放路南电子厂房A座1层

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

G05B19/418

代理机构：

合肥岸蓝坡知识产权代理有限公司 34236

代理人：

梁成

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20240612
2024-10-15	公开	公开
2025-04-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆自动化生产控制系统及方法 [P].

周尤 ;

姚华东 ;

班恒生 ;

刘柏宏 ;

谢波 ;

杨绪强 .

中国专利 :CN118782497A ,2024-10-15

[2]

一种晶圆自动化生产控制系统及方法 [P].

王贵石 ;

范东方 .

中国专利 :CN110376994A ,2019-10-25

[3]

一种晶圆自动化生产控制系统及方法 [P].

金星勋 .

中国专利 :CN113138586A ,2021-07-20

[4]

一种自动化生产的远程控制系统及方法 [P].

成锐 ;

李牧 ;

叶贵芳 ;

蒋振宇 ;

林泽钦 .

中国专利 :CN117234160B ,2024-03-08

[5]

一种口罩自动化生产控制系统 [P].

娄志伟 .

中国专利 :CN111186607A ,2020-05-22

[6]

一种电容器自动化生产控制系统及生产方法 [P].

眭柏林 ;

邓从敏 .

中国专利 :CN111406298B ,2020-07-10

[7]

一种自动化生产控制系统 [P].

徐宁岩 ;

范朝云 ;

李冲甲 ;

高林 ;

高波 ;

江艳 ;

王飞 ;

邵琦锋 ;

徐树广 .

中国专利 :CN119869390A ,2025-04-25

[8]

一种富硒白茶自动化生产用智能控制系统及方法 [P].

高英 ;

冯高英 ;

陈丽 .

中国专利 :CN120993841A ,2025-11-21

[9]

一种自动化生产控制系统 [P].

徐宁岩 ;

范朝云 ;

李冲甲 ;

高林 ;

高波 ;

江艳 ;

王飞 ;

邵琦锋 ;

徐树广 .

中国专利 :CN119869390B ,2025-11-04

[10]

一种饲料自动化生产控制系统及方法 [P].

李远明 .

中国专利 :CN117970884A ,2024-05-03

← 1 2 3 4 5 →