一种增强均温性载片装置及探针台设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421068462.2

申请日：

2024-05-16

公开(公告)号：

CN222749439U

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

梁加隆梁经伦张文涛郑东海蒋泉生

申请人：

广东华矽半导体设备有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市松山湖园区新竹路4号11栋1单元101室

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/683

代理机构：

广东中科小顶知识产权代理事务所(普通合伙) 44926

代理人：

吴道耀

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种载物台及探针台 [P].

杨应俊 ;

沈杰 .

中国专利 :CN211374831U ,2020-08-28

[2]

一种手动探针台的载片台装置 [P].

吉仁文 .

中国专利 :CN207780071U ,2018-08-28

[3]

一种承片台及探针台 [P].

雷迪 ;

韦日文 ;

柯权珍 ;

肖乐 .

中国专利 :CN212620649U ,2021-02-26

[4]

一种承片台及探针台 [P].

王胜利 ;

李景均 ;

杨应俊 .

中国专利 :CN209590078U ,2019-11-05

[5]

均温装置及均温设备 [P].

陈玉飞 ;

杨关印 ;

李众 ;

倪俊义 ;

丁绍州 .

中国专利 :CN217383408U ,2022-09-06

[6]

基于探针台的载片防滑装置 [P].

刘召满 .

中国专利 :CN210604689U ,2020-05-22

[7]

一种承片台及全自动探针台 [P].

林生财 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN209858608U ,2019-12-27

[8]

一种承片台及半导体探针台 [P].

韦日文 ;

刘振辉 ;

王胜利 .

中国专利 :CN209446628U ,2019-09-27

[9]

一种载片装置及测试设备 [P].

胡楠 ;

胡鹏飞 ;

叶波 ;

何松 .

中国专利 :CN221529909U ,2024-08-13

[10]

一种均温性水冷板 [P].

万继东 .

中国专利 :CN211580527U ,2020-09-25

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