一种晶圆自适应三点式边缘夹持装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421391504.6

申请日：

2024-06-18

公开(公告)号：

CN222705499U

公开(公告)日：

2025-04-01

发明(设计)人：

汪小星

申请人：

湖州普利姆半导体有限公司

申请人地址：

313000 浙江省湖州市长兴县泗安镇西湖科创园D幢209室

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

代理机构：

无锡智麦知识产权代理事务所(普通合伙) 32492

代理人：

刘咏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-01	授权	授权

共 50 条

[1]

自适应三点式沿程导向装置 [P].

生永贞 ;

崔稚 ;

曹以南 ;

马仁超 ;

余俊阳 ;

廖照邦 ;

曹慧颖 ;

陈琪 ;

易春 ;

丁波 ;

宋阳 ;

尹显清 ;

贾海波 .

中国专利 :CN209040085U ,2019-06-28

[2]

三点式管材定心夹持机构 [P].

肖茜 .

中国专利 :CN204353787U ,2015-05-27

[3]

三点式管材定心夹持机构 [P].

肖茜 .

中国专利 :CN104493527A ,2015-04-08

[4]

三点式静压浮起润滑装置 [P].

王冰 ;

李刚 ;

于相鹏 .

中国专利 :CN202114539U ,2012-01-18

[5]

一种三点式卡尺 [P].

唐海元 ;

方嘉锐 ;

蔡煜东 ;

赵晓飞 ;

郑延吉 ;

陈择年 .

中国专利 :CN214372173U ,2021-10-08

[6]

一种三点式背带 [P].

王献 ;

甘剑 ;

古桂林 ;

张毅 .

中国专利 :CN206621014U ,2017-11-10

[7]

三点式温度监测装置 [P].

高良宸 .

中国专利 :CN216954877U ,2022-07-12

[8]

三点式钣金件夹紧装置 [P].

杨海钟 .

中国专利 :CN205438312U ,2016-08-10

[9]

三点式外径检测装置 [P].

徐振国 .

中国专利 :CN214470607U ,2021-10-22

[10]

一种三点式方棒手动夹持器 [P].

杨昊 .

中国专利 :CN211109824U ,2020-07-28

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