训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202080055236.9

申请日：

2020-07-30

公开(公告)号：

CN114207517B

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

马紫阳程进罗亚郑雷武郭欣王祯祥

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G03F7/20 G06N3/0464 G06N3/08 G06N3/047

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张启程

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	授权	授权

共 50 条

[1]

训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 .

:CN120143543A ,2025-06-13

[2]

训练用于改善图案化过程的机器学习模型的方法 [P].

马紫阳 ;

程进 ;

罗亚 ;

郑雷武 ;

郭欣 ;

王祯祥 .

中国专利 :CN114207517A ,2022-03-18

[3]

用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法 [P].

M·C·西蒙 ;

林晨希 ;

伍健一 .

:CN112889005B ,2024-07-30

[4]

用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法 [P].

M·C·西蒙 ;

林晨希 ;

伍健一 .

中国专利 :CN112889005A ,2021-06-01

[5]

用于生成特性图案和训练机器学习模型的方法 [P].

M·C·西蒙 ;

林晨希 ;

伍健一 .

:CN118915395A ,2024-11-08

[6]

用于训练机器学习模型的方法 [P].

L·肖特 ;

J·M·克勒 ;

C·布莱奥塔 .

德国专利 :CN119443177A ,2025-02-14

[7]

用于训练机器学习模型的方法 [P].

理查德·迈克尔·迪特勒夫斯 .

:CN120283240A ,2025-07-08

[8]

用于训练机器学习模型的方法 [P].

J·戈特 ;

B·库尔斯 ;

R·西穆尔斯 .

德国专利 :CN120937021A ,2025-11-11

[9]

用于训练机器学习模型的方法 [P].

J·瓦格纳 ;

N·O·菲尔古松 ;

S·沙伊德勒 ;

姚宇 ;

A·库马尔 ;

B·拉基奇 ;

E·科斯曼 ;

G·古尔孙 ;

M·赫尔曼 .

德国专利 :CN117852602A ,2024-04-09

[10]

用于训练机器学习模型的方法 [P].

D·S·施塔特 ;

F·博肯坎普 ;

F·M·里希特 ;

I·卡缅希科夫 ;

V·洛弗尔曼 .

德国专利 :CN118898283A ,2024-11-05

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