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晶圆的翘曲度和弯曲度检测系统及其检测方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510317282.6
申请日：
2025-03-18
公开(公告)号：
CN119845177A
公开(公告)日：
2025-04-18
发明(设计)人：
黄一凡 李梁玮 罗粤浩 余鑫巍
申请人：
恒迈光学精密机械（杭州）有限公司
申请人地址：
310000 浙江省杭州市富阳区春江街道江南路68号第23幢201室
IPC主分类号：
G01B11/16
IPC分类号：
G01B11/24 G01B9/02015 H01L21/66 H01L21/67
代理机构：
杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260
代理人：
徐晶晶
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
浙江省 杭州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-06 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/16申请日:20250318
2025-04-18 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆翘曲度检测装置及方法 [P]. 
许有超 ;
谭秀文 ;
苏亚青 .
中国专利 :CN112050719A ,2020-12-08
[2]
一种密封圈弯曲度和翘曲度的检测装置和检测方法 [P]. 
蒋红亮 .
中国专利 :CN114674209A ,2022-06-28
[3]
筷子耐弯曲度检测系统及其检测方法 [P]. 
陈楚鹏 .
中国专利 :CN109781547B ,2019-05-21
[4]
太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置和检测方法 [P]. 
孙铁囤 ;
姚伟忠 ;
汤平 .
中国专利 :CN106876298A ,2017-06-20
[5]
一种晶圆弯曲度检测装置 [P]. 
巩铁建 ;
陶为银 .
中国专利 :CN212843506U ,2021-03-30
[6]
隔膜弯曲度检测装置及检测隔膜弯曲度的方法 [P]. 
庄志 ;
鲁群 ;
赵远 ;
刘万锋 ;
廖培龙 ;
胡大山 ;
周鸿雁 ;
陈彦丞 ;
陈旭建 ;
刘倩倩 .
中国专利 :CN114705147A ,2022-07-05
[7]
隔膜弯曲度检测装置及检测隔膜弯曲度的方法 [P]. 
庄志 ;
鲁群 ;
赵远 ;
刘万锋 ;
廖培龙 ;
胡大山 ;
周鸿雁 ;
陈彦丞 ;
陈旭建 ;
刘倩倩 .
中国专利 :CN114705147B ,2024-08-20
[8]
一种晶圆弯曲度检测装置 [P]. 
顾臻炜 ;
徐伟 ;
沈思情 ;
张俊宝 ;
陈猛 .
中国专利 :CN210833375U ,2020-06-23
[9]
太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置及检测方法 [P]. 
许云 .
中国专利 :CN110849284A ,2020-02-28
[10]
弯曲度检测装置 [P]. 
马义 ;
吴丽君 ;
单玉举 ;
单武举 .
中国专利 :CN121048527A ,2025-12-02
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