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一种立式转塔装置及固晶机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421332861.5
申请日：
2024-06-12
公开(公告)号：
CN222762941U
公开(公告)日：
2025-04-15
发明(设计)人：
曾逸
张维伦
廖志永
申请人：
深圳市卓兴半导体科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区石岩街道应人石社区文川路友晟纸业旁厂房一层
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/683
代理机构：
深圳市添源创鑫知识产权代理有限公司 44855
代理人：
于标
法律状态：
授权
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-15 | 授权 | 授权 |