一种硅片接送片盒装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420576528.2

申请日：

2024-03-22

公开(公告)号：

CN222705478U

公开(公告)日：

2025-04-01

发明(设计)人：

周宏业胡艳东郑聪罗宁

申请人：

深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区金牛东路62号一层至六层

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/68 H01L21/673 H01L21/67

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

谢岳鹏

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-01	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片装盒装置 [P].

李红 ;

于慎波 ;

徐福强 ;

夏鹏澎 ;

郭凯 ;

任春雨 .

中国专利 :CN205661706U ,2016-10-26

[2]

一种硅片承载盒装置 [P].

刘文琦 ;

方杰 ;

王瑶 ;

张剑峰 .

中国专利 :CN210040162U ,2020-02-07

[3]

一种硅片插片用硅片缓冲装置 [P].

许玉雷 .

中国专利 :CN217933734U ,2022-11-29

[4]

硅片承载盒装置 [P].

何强 ;

代同光 ;

李孔 ;

李贺 ;

杨玉龙 ;

贾光亮 .

中国专利 :CN206505898U ,2017-09-19

[5]

硅片装盒装置 [P].

王燕清 .

中国专利 :CN202245327U ,2012-05-30

[6]

一种位置可调的硅片片盒装载装置 [P].

任大清 ;

戴峻 .

中国专利 :CN203794122U ,2014-08-27

[7]

盒装硅片循环取出装置 [P].

王燕清 .

中国专利 :CN202245328U ,2012-05-30

[8]

一种可拆卸式硅片盒装置 [P].

张弛 ;

王志刚 ;

孙小俊 ;

王四海 .

中国专利 :CN205609489U ,2016-09-28

[9]

一种收片盒装置 [P].

欧勇军 ;

阎志宇 .

中国专利 :CN2555522Y ,2003-06-11

[10]

一种送片盒装置 [P].

罗东 ;

杜汉勋 .

中国专利 :CN2555521Y ,2003-06-11

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