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一种高温高体积电阻率静电卡盘陶瓷板及其制备方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411773299.4
申请日：
2024-12-04
公开(公告)号：
CN119841649A
公开(公告)日：
2025-04-18
发明(设计)人：
石锗元 戴毅 李君 洪元杓 陈振宁 李海南 肖伟
申请人：
君原电子科技（海宁）有限公司
申请人地址：
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢
IPC主分类号：
C04B35/582
IPC分类号：
C04B35/622 B32B18/00 H01L21/683
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-18 公开 公开
2025-05-06 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/582申请日:20241204
共 50 条
[1]
一种高体积电阻率静电卡盘氮化铝陶瓷盘的制备方法 [P]. 
石锗元 ;
陈超群 ;
李君 ;
肖伟 ;
张倩雯 ;
周俊 .
中国专利 :CN119241252A ,2025-01-03
[2]
一种高体积电阻率静电卡盘的制备方法 [P]. 
石锗元 ;
田燕 ;
李君 .
中国专利 :CN120736906A ,2025-10-03
[3]
一种高温下高电阻率氮化铝陶瓷及其制备方法 [P]. 
李圣银 ;
赵伟明 ;
吴学文 ;
庄苏伟 ;
刘先兵 .
中国专利 :CN119797931A ,2025-04-11
[4]
一种高电阻率氮化铝陶瓷基板及其制备方法 [P]. 
刘庆锋 ;
刘佳乐 ;
刘维华 ;
张风云 ;
杜鹏远 ;
刘付朋 .
中国专利 :CN120483732A ,2025-08-15
[5]
一种高电阻率氮化铝陶瓷基板及其制备方法 [P]. 
刘庆锋 ;
刘佳乐 ;
刘维华 ;
张风云 ;
杜鹏远 ;
刘付朋 .
中国专利 :CN120483732B ,2025-09-09
[6]
一种氮化铝陶瓷高温体积电阻率的测量方法 [P]. 
李君 ;
田燕 ;
石锗元 ;
肖伟 .
中国专利 :CN119780534A ,2025-04-08
[7]
高体积电阻率EVA胶膜及其制备工艺 [P]. 
詹显光 .
中国专利 :CN103146315A ,2013-06-12
[8]
一种高体积电阻率玻璃、高铝氧化铝陶瓷及其制备方法 [P]. 
王丹 ;
高乐文 ;
李拉练 ;
项争顺 ;
王伟 .
中国专利 :CN120573945A ,2025-09-02
[9]
高体积电阻率PTT复合材料及其制备方法 [P]. 
刘辉 ;
陶德良 .
中国专利 :CN106751561A ,2017-05-31
[10]
一种体积电阻率高的阻燃电缆材料及其制备方法 [P]. 
简亮 .
中国专利 :CN118909364A ,2024-11-08
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