共 50 条
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键合装置及其键合方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411881651.6
申请日：
2024-12-19
公开(公告)号：
CN119764198A
公开(公告)日：
2025-04-04
发明(设计)人：
请求不公布姓名
请求不公布姓名
申请人：
智慧星空（上海）工程技术有限公司
广东星空科技装备有限公司
申请人地址：
201316 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区海基六路70弄1号512-57室
IPC主分类号：
H01L21/603
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/683
代理机构：
北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718
代理人：
卜辉辉
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-04 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/603申请日:20241219 |