等离子体发生装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411920356.7

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN119729981A

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

管长乐范强陈保存宋永明刘建生

申请人：

北京屹唐半导体科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海二路28号8幢

IPC主分类号：

H05H1/24

IPC分类号：

H05H1/46

代理机构：

北京易光知识产权代理有限公司 11596

代理人：

金爱静;阎敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H05H 1/24申请日:20241224
2025-03-28	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体发生装置 [P].

李海涛 .

中国专利 :CN211860639U ,2020-11-03

[2]

等离子体发生装置 [P].

黄峰 ;

齐颢与 ;

刘鑫 ;

陈文卓 ;

粱儒宁 ;

唐小江 .

中国专利 :CN114040558A ,2022-02-11

[3]

等离子体发生装置 [P].

金昌植 ;

金泰用 ;

金明佑 ;

南宫赫 ;

李河润 .

韩国专利 :CN117528891A ,2024-02-06

[4]

等离子体发生装置 [P].

王望南 .

中国专利 :CN1340990A ,2002-03-20

[5]

等离子体发生装置 [P].

弓削政郞 ;

竹之下一利 ;

山田幸香 ;

宫本诚 .

中国专利 :CN103857167B ,2014-06-11

[6]

等离子体发生装置 [P].

叶燕峰 .

中国专利 :CN205041832U ,2016-02-24

[7]

等离子体发生装置 [P].

保罗·贝内特 .

中国专利 :CN110402009A ,2019-11-01

[8]

等离子体发生装置 [P].

张宜东 ;

蔡珑元 ;

尹志尧 .

中国专利 :CN211792195U ,2020-10-27

[9]

等离子体发生装置 [P].

周卫云 ;

杨鑫 ;

周海山 ;

李宇 ;

慕香红 ;

罗广南 .

中国专利 :CN120358657A ,2025-07-22

[10]

等离子体发生装置 [P].

金昌植 ;

金泰用 ;

金明佑 ;

南宫赫 ;

李河润 .

韩国专利 :CN117528891B ,2024-12-13

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