氧化镓气敏传感器及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010481770.8

申请日：

2020-05-29

公开(公告)号：

CN113740387B

公开(公告)日：

2025-04-18

发明(设计)人：

张晓东唐文博何涛张宝顺

申请人：

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所广东中科半导体微纳制造技术研究院

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号

IPC主分类号：

G01N27/12

IPC分类号：

B82Y15/00 B82Y40/00

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

王锋

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-18	授权	授权

共 50 条

[1]

氧化镓气敏传感器及其制备方法和应用 [P].

张晓东 ;

唐文博 ;

何涛 ;

张宝顺 .

中国专利 :CN113740387A ,2021-12-03

[2]

半导体气敏传感器及其制备方法 [P].

刘静 ;

伊福廷 ;

张天冲 ;

王波 ;

王雨婷 .

中国专利 :CN105866187B ,2016-08-17

[3]

一种微涡流量子点气敏传感器及其制备方法和应用 [P].

赵季杰 ;

刘斌 ;

员朝鑫 ;

张丽萍 ;

强进 ;

高晓平 .

中国专利 :CN120044082A ,2025-05-27

[4]

一种气敏材料、气敏传感器及其制备方法和应用 [P].

张振兴 ;

王旭坤 ;

盛英卓 ;

张文键 .

中国专利 :CN114839232B ,2025-03-11

[5]

一种气敏材料、气敏传感器及其制备方法和应用 [P].

张振兴 ;

王旭坤 ;

盛英卓 ;

张文键 .

中国专利 :CN114839232A ,2022-08-02

[6]

一种气敏材料、气敏传感器及其制备方法和应用 [P].

张振兴 ;

张文键 ;

王旭坤 .

中国专利 :CN113433171B ,2021-09-24

[7]

基于氧化镓/镓酸锌异质结纳米阵列的柔性气敏传感器及其制备方法 [P].

杨丽娜 .

中国专利 :CN108982600B ,2018-12-11

[8]

基于氧化锡/氧化镓异质结纳米阵列的柔性气敏传感器及其制备方法 [P].

杨丽娜 .

中国专利 :CN108535337A ,2018-09-14

[9]

一种气敏传感器及其制备方法和应用 [P].

高云 ;

谭添 ;

黎勋 ;

戢威 ;

何恒 ;

杭卓林 ;

鲍钰文 ;

夏晓红 .

中国专利 :CN115586235B ,2025-01-14

[10]

一种气敏传感器及其制备方法和应用 [P].

高云 ;

谭添 ;

黎勋 ;

戢威 ;

何恒 ;

杭卓林 ;

鲍钰文 ;

夏晓红 .

中国专利 :CN115586235A ,2023-01-10

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