共 50 条
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薄膜製造のための化学物質源の統合された合成、送達及び加工のための方法及びシステム[ja]
被引：0
申请号：
JP20230035727
申请日：
2023-03-08
公开(公告)号：
JP7656644B2
公开(公告)日：
2025-04-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/44
IPC分类号：
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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