一种硅环的全自动镜面抛光装置

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专利类型
发明
申请号
CN202510085182.5
申请日
2025-01-20
公开(公告)号
CN119772754A
公开(公告)日
2025-04-08
发明(设计)人
李祥永 顾曹鑫 赵佑晨
申请人
浙江圆芯半导体材料有限公司
申请人地址
314499 浙江省嘉兴市海宁市海昌街道谷水路306号2幢2楼205号(自主申报)
IPC主分类号
B24B29/04
IPC分类号
B24B27/00 B24B55/06 B24B41/06 B24B47/12
代理机构
浙江启明星专利代理有限公司 33492
代理人
司静
法律状态
实质审查的生效
国省代码
浙江省 嘉兴市
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共 50 条
[1]
一种硅环的全自动镜面抛光装置 [P]. 
李祥永 ;
顾曹鑫 ;
赵佑晨 .
中国专利 :CN119772754B ,2025-06-27
[2]
碳化硅密封环全自动镜面抛光装置 [P]. 
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[3]
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[4]
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张贤泽 ;
张贤光 ;
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[6]
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[10]
一种镜面抛光机 [P]. 
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李晓军 ;
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