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压力控制装置及压力控制方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510054306.3
申请日：
2025-01-14
公开(公告)号：
CN119725176A
公开(公告)日：
2025-03-28
发明(设计)人：
段一宇
耿超
肖成亮
张心强
申请人：
无锡邑文微电子科技股份有限公司
江苏邑文微电子科技有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
G05D16/20
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
蔡舒野
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
南通市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-23 | 授权 | 授权 |
| 2025-03-28 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250114 |