共 50 条
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パターン測定装置、パターン測定用プログラム、及び、パターン測定方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230170150
申请日：
2023-09-29
公开(公告)号：
JP2025059825A
公开(公告)日：
2025-04-10
发明(设计)人：
HIGUCHI SEIJI
OGAKI RYOSUKE
UEDA TAKAYUKI
申请人：
HORIBA STEC CO LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
G01B15/00
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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