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一种镍铂合金靶材及其制备方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202411812873.2
申请日
:
2024-12-10
公开(公告)号
:
CN119876805A
公开(公告)日
:
2025-04-25
发明(设计)人
:
居炎鹏
党严朝
朱浩淳
蔡新志
申请人
:
先导薄膜材料(江苏)有限公司
申请人地址
:
221116 江苏省徐州市高新技术产业开发区同创路西、五环路北
IPC主分类号
:
C22F1/10
IPC分类号
:
C23C14/35
C22F1/02
C22C19/03
C22C1/02
B23P15/00
代理机构
:
清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815
代理人
:
龚元元
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-25
公开
公开
2025-05-13
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C22F 1/10申请日:20241210
共 50 条
[1]
镍铂合金靶材及其制备方法
[P].
邵玲
论文数:
0
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邵玲
;
王广欣
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王广欣
;
赵学义
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0
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0
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赵学义
.
中国专利
:CN104018120B
,2014-09-03
[2]
一种镍铂合金靶材制备方法
[P].
居炎鹏
论文数:
0
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0
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机构:
河南东微电子材料有限公司
河南东微电子材料有限公司
居炎鹏
;
李心然
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0
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机构:
河南东微电子材料有限公司
河南东微电子材料有限公司
李心然
;
赵泽良
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机构:
河南东微电子材料有限公司
河南东微电子材料有限公司
赵泽良
;
王永超
论文数:
0
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0
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机构:
河南东微电子材料有限公司
河南东微电子材料有限公司
王永超
.
中国专利
:CN115415523B
,2024-04-30
[3]
一种镍铂合金靶材制备方法
[P].
居炎鹏
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居炎鹏
;
李心然
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李心然
;
赵泽良
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赵泽良
;
王永超
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王永超
.
中国专利
:CN115415523A
,2022-12-02
[4]
一种再生镍铂合金靶材及其制备方法
[P].
姚力军
论文数:
0
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
姚力军
;
陈石
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
陈石
;
周友平
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
周友平
;
慕二龙
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机构:
宁波江丰电子材料股份有限公司
宁波江丰电子材料股份有限公司
慕二龙
.
中国专利
:CN119144836A
,2024-12-17
[5]
镍铂合金靶材及其制法
[P].
刘宗翰
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刘宗翰
;
刘宜陇
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刘宜陇
;
刘娉婷
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刘娉婷
.
中国专利
:CN113881920A
,2022-01-04
[6]
镍铂合金靶材及其制法
[P].
刘宗翰
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机构:
光洋应用材料科技股份有限公司
光洋应用材料科技股份有限公司
刘宗翰
;
刘宜陇
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机构:
光洋应用材料科技股份有限公司
光洋应用材料科技股份有限公司
刘宜陇
;
刘娉婷
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机构:
光洋应用材料科技股份有限公司
光洋应用材料科技股份有限公司
刘娉婷
.
中国专利
:CN113881920B
,2024-11-12
[7]
带有铜合金背板的镍铂合金靶材及其制备方法
[P].
邵玲
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邵玲
;
王广欣
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王广欣
;
赵学义
论文数:
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0
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0
赵学义
.
中国专利
:CN104195513A
,2014-12-10
[8]
一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材及其制备方法
[P].
邵玲
论文数:
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邵玲
;
王广欣
论文数:
0
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0
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王广欣
;
赵学义
论文数:
0
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0
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赵学义
.
中国专利
:CN104178739A
,2014-12-03
[9]
一种异形镍铂合金靶材制备方法
[P].
程其兵
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机构:
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
程其兵
;
陈凌鹏
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机构:
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
陈凌鹏
;
陈雷威
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机构:
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
陈雷威
;
陈萧萧
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机构:
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
陈萧萧
;
陈隆隆
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机构:
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
亚芯半导体材料(江苏)有限公司
陈隆隆
.
中国专利
:CN118703946A
,2024-09-27
[10]
一种制备超高纯镍铂合金靶材的方法
[P].
张俊敏
论文数:
0
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张俊敏
;
闻明
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闻明
;
谭志龙
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谭志龙
;
王传军
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王传军
;
沈月
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沈月
;
毕珺
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毕珺
;
宋修庆
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宋修庆
;
管伟明
论文数:
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0
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管伟明
.
中国专利
:CN105986138A
,2016-10-05
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