标定靶标装置及标定系统

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专利类型
发明
申请号
CN202411973146.4
申请日
2024-12-30
公开(公告)号
CN119879882A
公开(公告)日
2025-04-25
发明(设计)人
霍汉林 王国名 陈飞燕 董登峰 石俊凯 程智 崔成君 王博 朱志忠
申请人
中国科学院微电子研究所
申请人地址
100029 北京市朝阳区北土城西路3号
IPC主分类号
G01C15/08
IPC分类号
G01C15/00
代理机构
北京辰权知识产权代理有限公司 11619
代理人
张立桐
法律状态
公开
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
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[3]
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[10]
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