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一种可旋转和微调的真空托盘升降装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421832099.7
申请日：
2024-07-31
公开(公告)号：
CN222821635U
公开(公告)日：
2025-05-02
发明(设计)人：
彭奕博
张昊
伊明辉
贾立松
李英万
申请人：
青岛思锐智能科技股份有限公司
申请人地址：
266000 山东省青岛市中国（山东）自由贸易试验区青岛片区牧马山路11号3#楼
IPC主分类号：
C23C14/50
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
北京北汇律师事务所 11711
代理人：
毕艳红
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-02 | 授权 | 授权 |