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一种压电式MEMS加速度计的感应电压调值方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510250293.7
申请日：
2025-03-04
公开(公告)号：
CN119873738A
公开(公告)日：
2025-04-25
发明(设计)人：
徐文俊 汪洋 丁国建 王晓晖 冯琦 于萍 王世卓荦 贾海强 陈弘
申请人：
松山湖材料实验室 中国科学院物理研究所
申请人地址：
523000 广东省东莞市大朗镇屏东路333号
IPC主分类号：
B81C1/00
IPC分类号：
B81B7/02 G01P15/09
代理机构：
北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463
代理人：
胡娟娟
法律状态：
公开
国省代码：
广东省 东莞市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-04-25 公开 公开
2025-11-07 授权 授权
2025-05-13 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20250304
共 50 条
[1]
一种压电式MEMS加速度计的感应电压调值方法 [P]. 
徐文俊 ;
汪洋 ;
丁国建 ;
王晓晖 ;
冯琦 ;
于萍 ;
王世卓荦 ;
贾海强 ;
陈弘 .
中国专利 :CN119873738B ,2025-11-07
[2]
一种压电式MEMS加速度计及制备方法 [P]. 
徐文俊 ;
汪洋 ;
丁国建 ;
王晓晖 ;
冯琦 ;
于萍 ;
王世卓荦 ;
贾海强 ;
陈弘 .
中国专利 :CN119873737A ,2025-04-25
[3]
一种压电式MEMS加速度计及制备方法 [P]. 
徐文俊 ;
汪洋 ;
丁国建 ;
王晓晖 ;
冯琦 ;
于萍 ;
王世卓荦 ;
贾海强 ;
陈弘 .
中国专利 :CN119873737B ,2025-11-11
[4]
压电式MEMS加速度计及压电式矢量水听器 [P]. 
娄亮 ;
张豪越 .
中国专利 :CN223229628U ,2025-08-15
[5]
MEMS加速度计 [P]. 
尹永刚 ;
韩丰田 ;
方政翔 ;
吴秋平 ;
董景新 ;
刘云峰 .
中国专利 :CN109270298A ,2019-01-25
[6]
MEMS加速度计 [P]. 
陈罗平 .
中国专利 :CN106033090A ,2016-10-19
[7]
MEMS加速度计 [P]. 
张沛 ;
庄瑞芬 ;
李诺伦 .
中国专利 :CN115078769B ,2022-09-20
[8]
一种压电式加速度计 [P]. 
刘炎 ;
孙成亮 ;
胡博豪 ;
高超 ;
邹杨 .
中国专利 :CN110501521A ,2019-11-26
[9]
一种MEMS加速度计 [P]. 
李桂新 ;
张平 .
中国专利 :CN108254585B ,2024-05-31
[10]
一种MEMS加速度计 [P]. 
邹波 ;
郑青龙 .
中国专利 :CN108020687A ,2018-05-11
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