蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510368827.6

申请日：

2025-03-27

公开(公告)号：

CN119877107A

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

郑东肖迪徐军高翔刘奔宋百乐赵俊竹

申请人：

青岛华芯晶电科技有限公司同济大学

申请人地址：

266000 山东省青岛市高新区河东路383号

IPC主分类号：

C30B33/02

IPC分类号：

F27D19/00

代理机构：

北京铭创聚诚知识产权代理有限公司 13156

代理人：

龙烁

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	公开	公开
2025-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 33/02申请日:20250327
2025-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

蓝宝石退火炉运行状态监测控制方法 [P].

郑东 ;

肖迪 ;

徐军 ;

高翔 ;

刘奔 ;

宋百乐 ;

赵俊竹 .

中国专利 :CN119877107B ,2025-06-24

[2]

蓝宝石衬底退火炉 [P].

储耀卿 ;

石剑舫 ;

王善建 ;

石晓鑫 ;

朱文超 .

中国专利 :CN202595343U ,2012-12-12

[3]

一种蓝宝石用退火炉 [P].

刘菁菁 .

中国专利 :CN107354511A ,2017-11-17

[4]

一种蓝宝石退火炉装置 [P].

徐建平 .

中国专利 :CN204491040U ,2015-07-22

[5]

一种蓝宝石衬底退火炉 [P].

王慧芳 ;

林传宝 .

中国专利 :CN214956780U ,2021-11-30

[6]

一种高温蓝宝石晶体退火炉 [P].

戴生伢 ;

张引 ;

陈福金 ;

黄振进 .

中国专利 :CN212895089U ,2021-04-06

[7]

一种蓝宝石卧式退火炉产品装卸小车 [P].

李加军 ;

刘典 .

中国专利 :CN211496816U ,2020-09-15

[8]

退火炉的运行方法 [P].

T·道贝 ;

M·耶内克 ;

L·屈梅尔 ;

U·左默斯 ;

A·洛斯特 .

中国专利 :CN110770357A ,2020-02-07

[9]

一种用于蓝宝石晶片退火工序的退火炉及高效退火方法 [P].

杨鑫宏 ;

于凌志 ;

孟繁志 ;

赵春野 ;

王元博 ;

韩强 .

中国专利 :CN118600560A ,2024-09-06

[10]

一种超高温蓝宝石晶棒退火炉 [P].

戴生伢 ;

张引 ;

钱松根 ;

陈福金 ;

黄振进 .

中国专利 :CN213680979U ,2021-07-13

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