一种硅片加热的退火炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421622776.2

申请日：

2024-07-10

公开(公告)号：

CN222813565U

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

韩群吴妃

申请人：

合肥晶祺电子科技有限公司

申请人地址：

230000 安徽省合肥市长丰县双凤工业区淮南北路与双墩路交口人和空气净化产业城241-1号

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

C30B33/02 C30B29/06 H01L21/324 H01L21/673

代理机构：

合肥金律专利代理事务所(普通合伙) 34184

代理人：

段晓微

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片退火炉 [P].

颜廷福 .

中国专利 :CN210575848U ,2020-05-19

[2]

退火炉加热装置 [P].

周开勇 .

中国专利 :CN201154981Y ,2008-11-26

[3]

一种退火炉 [P].

康秋锋 ;

张丹萍 .

中国专利 :CN217265903U ,2022-08-23

[4]

一种退火炉加热装置 [P].

李生虎 .

中国专利 :CN202181317U ,2012-04-04

[5]

一种退火炉加热装置 [P].

袁剑 ;

赵宗军 ;

耿方晓 ;

滕光柱 ;

展召法 .

中国专利 :CN208455034U ,2019-02-01

[6]

退火炉以及铝材退火炉 [P].

付东伟 .

中国专利 :CN207498444U ,2018-06-15

[7]

真空退火炉加热装置 [P].

尹中荣 ;

李全旺 ;

郑杰 ;

王征 ;

张睿 ;

王轩 ;

戴天舒 ;

李勍 ;

孙照富 ;

张延宾 .

中国专利 :CN201942738U ,2011-08-24

[8]

一种改进的退火炉加热装置 [P].

高晓琳 .

中国专利 :CN220284151U ,2024-01-02

[9]

退火炉的加热结构 [P].

王重真 ;

谭思平 .

中国专利 :CN207031492U ,2018-02-23

[10]

一种改进的退火炉加热装置 [P].

周开勇 .

中国专利 :CN201729856U ,2011-02-02

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